الدين على رباطه حتى أدركته هو أيضًا منيته بالغا من العمر الخامسة والثمانين أيضًا، وكانت وفاته فى يوم الاثنين الثانى عشر من شهر المحرم سنة 735 هـ (12 من شهر سبتمبر سنة 1334 م) وحج صفى الدين إلى مكة قبيل وفاته، وكان قد استخلف ابنه صدر الدين، وأصيب بالمرض عند عودته فلزم الفراش اثنى عشر يومًا ثم توفى، وكانت له زوجتان: بيبى فاطمة ابنة الشيخ زاهد، وابنة أخى سليمان الكلخورانى. وكانت بيبى فاطمة أم: (1) محيى الدين، المتوفى سنة 724 هـ (1324 م) (2) صدر الدين (المولود فى 27 من أبريل سنة 1305 م = شوال سنة 704؛ والمتوفى سنة 794 هـ = 1393 م)، وكان خليفة صفى الدين، (3) أبى سعيد. وقد ولدت له زوجته الثانية ولدين هما علاء الدين وشرف الدين كما ولدت له بنتا تزوجت الشيخ شمس الدين، وهو أحد أبناء الشيخ زاهد.
وكان صفى الدين مؤسس طريقة الدراويش الصفوية التى سيطرت سياسيًا على بلاد فارس من بعد، ولم نحقق بعد نظام هذه الطريقة وتاريخها تحقيقًا دقيقًا على أنها تتصل اتصالا وثيقًا فى تاريخها السياسى والدينى بطرق الدراويش التى ظهرت بعد فى الأناضول وأصبح لها شأن فيها مثل الآخية والبكتاشية، ولبس أتباعها بعد ذلك قلنسوة من الصوف القرمزى واتخذوها شعارًا لهم (وسميت القلنسوة بعد باسم حيدر؛ انظر Islam، جـ 11، ص 83) واشتق منها الاسم التركى قزل باش (أى الرأس الأحمر). أما فيما يتصل بالمذهب الدينى لهذه الطريقة فمن المحقق أن نظرتها المتأخرة كانت تأخذ بالمذهب الشيعى وإن كان قد قيل بأن صفى الدين نفسه، مؤسس الطريقة، كان سنيًا (انظر Persian Litertaure in Modern Times: E.G.Browne ص 43 وهو مستمد من "أحسن التواريخ")، وكان لصفى الدين مريدون كثيرون من بلاد فارس وبخاصة من الأناضول (انظر J.R.A, S, 1921, ص 403 - 4)، والفضل لصفى الدين فيما بلغته هذه الطريقة من شأو عظيم فى الدوائر الصوفية وفيما بلغته بعد ذلك